(资料图片仅供参考)
来源:大半导体产业网
据佳能中国官微消息,佳能将于2023年2月21日推出半导体制造用晶圆测量机“MS-001”,该产品可以对晶片进行高精度的对准测量。
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(图源:佳能中国)
据悉,新产品“MS-001”所搭载的调准用示波器安装有区域传感器,可以进行多像素测量,降低测量时的噪音。另外,“MS-001”还可以对多个种类的对准标记进行测量。通过采用新开发的调准用示波器光源,新产品可提供的波长范围比在半导体光刻设备中测量时大1.5倍。
通过引进解决方案平台“Lithography Plus”,可以将有关半导体光刻机和“MS-001”的运转情况的相关信息集中到“Lithography Plus”中。通过数据对照监测,可以检测出晶圆表面对准信息的变化,并在半导体光刻机上进行自动校正。
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